Mehrachs-Aktoren mit hochlinearer Auslenkung Betriebsspannung bipolar bis 500V, nahezu hysteresefreie Auslenkung. 1 μm Stellweg, 5 mm × 5 mm × 7,5 mm
Mehrachs-Aktoren mit hochlinearer Auslenkung Betriebsspannung bipolar bis 500V, nahezu hysteresefreie Auslenkung. 1 μm Stellweg, 5 mm × 5 mm × 12,5 mm